플랜트 및 반도체, 특수가스 산업에서 스크러버는 단순한 대기오염 방지 설비가 아닙니다. 특히 가스업계와 반도체 FAB에서는 Emergency Scrubber가 PSV 배출 처리 및 국소배기(Local Exhaust) 대응 설비로 운용되는 경우가 매우 많습니다. 실무에서는 다음과 같은 질문이 반복됩니다.“Process Scrubber가 있는데, 왜 Emergency Scrubber를 따로 두는가?” 이번 글에서는 공정 설계 철학, PSV Relief 개념, 국소배기 시스템, 그리고 관련 법령 기준을 근거로 두 설비를 구분해야 하는 이유를 정리해 보겠습니다. 1. 스크러버의 기본 개념스크러버는 유해가스를 세정액과 접촉시켜 흡수·중화하는 설비입니다. 반도체 및 특수가스 산업에서 주요 대상 물질은 다음과 같습..